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发明名称
摘要
申请公布号 JP4431239(B2) 申请公布日期 2010.03.10
申请号 JP20000040010 申请日期 2000.02.17
申请人 发明人
分类号 G01N1/28;H01L21/02;G01N31/00;G01N33/00;H01L21/00;H01L21/66;H01L21/68;H01L21/687 主分类号 G01N1/28
代理机构 代理人
主权项
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