用于形成微结构的装置和致动器

摘要

本发明涉及一种通过主轴形成微结构的装置，主轴适于被驱动以绕其纵向轴线旋转并设有用于夹持工件的夹具，该装置具有设有快速驱动器的致动器，快速驱动器适于使刀具沿大致垂直于工件表面的方向快速运动，致动器可沿工件表面定位以借助适于产生沿第一方向的线性进给运动的附加驱动器工作，其中，快速驱动器通过引导装置与刀具连接，引导装置抵抗回复力的作用使刀具沿快速驱动器的轴向方向进给，并且在垂直于轴向方向的平面中具有很高的刚性，其中引导装置包括可动地支撑在第一和第二弹簧元件上的滑枕，滑枕通过流体压力偏靠快速驱动器。本发明还涉及用于上述装置的致动器。

主权项

1、一种用于通过主轴(12)形成微结构的装置，所述主轴适于被驱动以绕其纵向轴线(25)旋转并设有用于夹持工件(16)的夹具，该装置具有设有快速驱动器(36)的致动器(30)，该快速驱动器适于使刀具(32)沿大致垂直于工件表面的方向快速运动，该致动器(30)可沿工件表面定位以借助适于产生沿第一方向(x)的线性进给运动的附加驱动器工作，其中，所述快速驱动器(36)通过引导装置(38)与所述刀具(32)连接，该引导装置抵抗回复力的作用使刀具(32)沿所述快速驱动器(36)的轴向方向进给，并且在垂直于所述轴向方向的平面中具有很高的刚性，其中所述引导装置(38)包括可动地支撑在第一和第二弹簧元件(44，48)上的滑枕(40)，所述装置的特征在于，所述滑枕(40)通过流体压力偏靠所述快速驱动器(36)，所述滑枕(40)保持在壳体(64)中，该滑枕(40)和该壳体(64)形成了压力密闭空间(72)，可在该空间施加流体压力，该空间(72)通过在压电侧与所述滑枕(40)连接的第一膜片(68)以及在刀具侧与所述滑枕(40)连接的第二膜片(70)沿轴向朝外部密封，并且所述第一膜片(68)暴露于流体压力的有效表面大于所述第二膜片(70)暴露于流体压力的有效表面。