具有管式阴极的溅射装置及用于操作此溅射装置的方法

摘要

本发明相关于一种带有管式阴极的溅射装置及一种用于操作此种溅射装置的方法。将动力、冷却流体及其他媒介物供应到管式阴极系经由绕着可以一个接收器卷绕之可挠的线材或管件而发生。如果管式阴极完成了一个钟摆运动的话，线材及/或管件系会被卷绕在该接收器上或是从该接收器卷开。管式阴极的钟摆运动较佳地系使得管式阴极可以在第一方向之中被旋转某一个第一角度，并且后续地在第二方向之中旋转某一个第二角度，而第二角度系不同于第一角度。

主权项

一种溅射装置，其具有1.1一个真空容室(1)；1.2一个在该真空容室(1)之中的管式阴极(3)；其特征在于1.3一个可以旋转的接收器(47)，外侧的可挠曲传导管线元件(23－25，52－55)可以被缠绕在该接收器以及可以从该接收器处卷开；1.4连接元件(46)，该等可挠曲的管线元件(23－25，52－55)可以藉着该等连接元件(46)与该可以旋转的接收器(47)相连接。