| 发明名称 |
APPARATUS FOR CHARACTERIZING A SURFACE STRUCTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2153214(A1) |
申请公布日期 |
2010.02.17 |
| 申请号 |
EP20080753822 |
申请日期 |
2008.05.08 |
| 申请人 |
ARGOS SOLUTIONS AS |
发明人 |
SOLLI, VIDAR;WESLIEN, KAJ-ROBIN |
| 分类号 |
G01N21/89;G01N21/86;G01B11/30;G01N21/55;G01N33/34 |
主分类号 |
G01N21/89 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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