| 发明名称 | 靶材组件的制作方法 | ||
| 摘要 | 一种靶材组件的制作方法，包括：提供300毫米靶材坯料、背板和钎料，所述背板四周形成有侧壁；对300毫米靶材坯料进行预热，将钎料均匀分布在300毫米靶材坯料的结合面与坯料外周，去除300毫米靶材坯料结合面和与坯料外周上的钎料；对背板的结合面进行打磨处理，对背板进行预热，将钎料均匀分布在背板的结合面和背板侧壁内侧，超声波处理添加钎料的背板；将300毫米靶材坯料与背板接触，将接触的300毫米靶材坯料与背板放置于工作台保持稳定，将300毫米靶材坯料焊接至背板形成靶材组件；冷却靶材组件。本发明能够有效避免钛靶材坯料和背板在焊接过程中氧化以及钎料氧化，并且焊接的靶材组件结合强度高。 | ||
| 申请公布号 | CN101648308A | 申请公布日期 | 2010.02.17 |
| 申请号 | CN200910140418.1 | 申请日期 | 2009.05.08 |
| 申请人 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 发明人 | 姚力军;潘杰;王学泽;欧阳琳;刘庆 |
| 分类号 | B23K1/08(2006.01)I;B23K1/06(2006.01)I;B23K1/20(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I | 主分类号 | B23K1/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李 丽 |
| 主权项 | 1.一种靶材组件的制作方法，其特征在于，包括：提供300毫米靶材坯料、背板和钎料，所述背板四周形成有侧壁；对300毫米靶材坯料进行预热，将钎料均匀分布在300毫米靶材坯料的结合面与坯料外周，使得钎料与300毫米靶材坯料的结合面与坯料外周充分浸润，去除300毫米靶材坯料结合面和与坯料外周上的钎料；对背板的结合面进行打磨处理，对背板进行预热，将钎料均匀分布在背板的结合面和背板侧壁内侧，超声波处理添加钎料的背板；将300毫米靶材坯料与背板接触，包括：将300毫米靶材坯料结合面与背板结合面接触并且300毫米靶材坯料外周与背板侧壁内侧接触；将接触的300毫米靶材坯料与背板放置于工作台保持稳定，将300毫米靶材坯料焊接至背板形成靶材组件；冷却靶材组件。 | ||
| 地址 | 315400浙江省余姚市阳明科技工业园区江丰路1号 | ||