发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Polysiliziumleitung mit einem Metallsilizidgebiet, das eine Linienbreitenreduzierung ermöglicht
摘要
申请公布号 DE10335101(B4) 申请公布日期 2010.02.04
申请号 DE20031035101 申请日期 2003.07.31
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES INC. 发明人 KAMMLER, THORSTEN;WIECZOREK, KARSTEN;SCHALLER, MATTHIAS
分类号 H01L21/336;H01L21/28;H01L21/283;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/4763;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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