基板分割系统、基板制造装置、基板划线方法及基板分割方法

摘要

于中空长方体状架台10，将夹紧装置50安装成能夹紧搬入架台10内之母基板之至少一处侧缘部。将一对基板分割装置设于划线装置导引体30，用以从夹紧装置50所夹紧之母基板之上面及下面分别分割母基板，划线装置导引体30能沿中空长方体状架台之一边往复移动，将一对基板分割装置安装成能沿与该移动方向正交之方向移动。夹紧装置所夹紧之母基板，系藉由基板支撑装置20来支撑。

主权项

一种基板分割系统，其特征在于具备：夹紧装置，握持该基板之侧缘部以将基板保持为水平状态；一对基板分割装置，分别设置在该基板之上方及下方，而在该基板之上面及下面分别形成划线；划线装置导引体，将该各基板分割装置保持为能移动于沿该基板之上面及下面的X方向，且相对该夹紧装置设置成可移动于与该X方向正交之Y方向；第1基板支撑部，设置于相对该划线装置导引体Y方向之一侧，用以支撑该基板之下面；以及第2基板支撑部，设置于相对该划线装置导引体Y方向之另一侧，用以支撑该基板之下面；该第1基板支撑部及该第2基板支撑部，分别具有随该划线装置导引体往一方之移动而分别移动于Y方向之复数个第1基板支撑组件及复数个第2基板支撑组件，且为支撑该基板，设置有藉该基板支撑组件将其支撑成沿Y方向状态之复数个支撑皮带；该各支撑皮带，相对于随该划线装置导引体往Y方向移动之该第1基板支撑组件及第2基板支撑组件往Y方向之移动，系以不会滑接之方式支撑藉该夹紧装置所保持之该基板的下面。