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发明名称 METHOD FOR THE CREATION OF PLANAR VARIATIONS IN SIZE OR DISTANCE IN NANOSTRUCTURE PATTERNS ON SURFACES
摘要
申请公布号 EP2134886(A2) 申请公布日期 2009.12.23
申请号 EP20080716484 申请日期 2008.03.12
申请人 MAX-PLANCK-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER WISSENSCHAFTEN E.V.;RUPRECHT-KARLS-UNIVERSITAET HEIDELBERG 发明人 SPATZ, JOACHIM;LOHMUELLER, THEOBALD;ARNOLD, MARCO
分类号 C23C18/08;C23C18/12;C23C18/14;G02B1/12;G02B3/00 主分类号 C23C18/08
代理机构 代理人
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