| 发明名称 |
COMPOSITION FOR FORMATION OF UNDERLAYER FILM FOR LITHOGRAPHY CONTAINING EPOXY COMPOUND AND CARBOXYLIC ACID COMPOUND |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1617289(A4) |
申请公布日期 |
2009.12.16 |
| 申请号 |
EP20040725145 |
申请日期 |
2004.04.01 |
| 申请人 |
NISSAN CHEMICAL INDUSTRIES, LTD. |
发明人 |
KISHIOKA, TAKAHIRO |
| 分类号 |
G03F7/11;C08G59/40;G03F7/09;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/11 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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