CONSTRUCTION ELEMENT MADE OF A FERROMAGNETIC SHAPE MEMORY MATERIAL AND USE THEREOF

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf das Gebiet der Materialwissenschaften und betrifft ein Bauelement, welches beispielsweise für Mikrobauteile, Mikrosensoren und Mikroaktoren zur Anwendung kommen kann. Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Bauelement anzugeben, bei welchem eine deutlich größere relative Längenänderungen auftritt. Die Aufgabe wird gelöst durch ein Bauelement aus einem ferromagnetischen Formgedächtnis-Material, hergestellt durch ein Verfahren, bei dem auf ein einkristallines oder biaxial texturiertes Substrat mindestens eine Opferschicht aufgebracht wird, auf die eine epitaktische oder texturierte Schicht aus einem ferromagnetischen Formgedächtnismaterial mit einer Schichtdicke von = 50 µm aufgebracht wird, nachfolgend die Opferschicht mindestens teilweise entfernt wird, und während oder nach der Schichtaufbringung eine Strukturierung mindestens des ferromagnetischen Formgedächtnismaterials dahingehend realisiert wird, dass ein Aspektverhältnis erreicht wird, bei dem mindestens eine Länge um mindestens einen Faktor als 3 größer ist als die Dicke der Schicht oder der kürzesten Abmessung des Bauteils.