基板处理装置和基板处理方法

摘要

本基板处理装置根据载放在基板载放台(1)的载放面上的第一基板的第一标记和第二标记的位置，使将第一标记与第二标记连接的线的方向与台架(2)的能移动的方向一致，使在将第一标记与第二标记连接的线的方向与上述移动方向一致的状态下的第一标记的位置和第三标记的位置存储在存储部中，在基板载放台(1)的载放面上载放第二基板后，针对第二基板，使将第二基板上的第一标记与第三标记连接的线的方向与根据存储部中存储的信息计算得到的将第一基板上的第一标记与第二基板上的第三标记连接的线的方向一致。

主权项

1.一种基板处理装置，其特征在于，包括：基板载放台，该基板载放台具有载放基板的载放面；处理部，该处理部对所述载放面上的所述基板进行处理；相对位置变动装置，该相对位置变动装置使所述载放面上的所述基板相对于所述处理部的相对位置变动；摄像部保持部件，该摄像部保持部件以能相对于所述载放面沿第一方向移动的形态安装在所述基板载放台上，且具有相对于所述载放面在所述载放面的法线方向上相对并沿第二方向延伸的相对部；摄像部，该摄像部安装在所述相对部上，并能对在载放于所述载放面的所述基板上形成的第一标记、第二标记和第三标记进行摄像；存储部，该存储部能存储所述基板上的所述第一标记的位置、所述基板上的所述第三标记的位置；控制装置，该控制装置进行第一控制、第二控制和第三控制，在所述第一控制中，所述控制装置根据来自所述摄像部的信号，使所述相对位置变动装置变动所述相对位置，以使将所述第一标记与所述第二标记连接的线的方向与所述第一方向一致，在所述第二控制中，所述控制装置根据来自所述摄像部的信号，使在将所述第一标记与所述第二标记连接的线的方向与所述第一方向一致后的状态下的所述第一标记与所述第三标记的位置存储在所述存储部中，在所述第三控制中，所述控制装置根据来自对所述第一标记和所述第三标记的位置被所述存储部存储的所述基板以外的其它所述基板进行摄像的所述摄像部的信号，使所述相对位置变动装置变动所述其它基板相对于所述处理部的相对位置，以使所述其它基板上将所述第一标记与所述第三标记连接的线的方向与根据所述存储部中存储的所述第一标记与所述第三标记的位置计算得到的将所述第一标记与所述第三标记连接的线的方向一致。