| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein katoptrisches Objektiv für Wellenlängen unter 193 nm zur Abbildung eines Objektes in einer Objektebene in ein Bild in einer Bildebene, wobei das Objektiv wenigstens vier reflektierende Spiegelflächen ( Ml, M2, M3, M4 ) umfasst, die auf wenigstens drei Spiegel ( Sl, S2, S3 ) ausgebildet werden, wobei zwei Spiegel (S2, S3 ) eine Öffnung für den Durchtritt eines Strahlbüschels, das das Objektiv von der Objektebene zur Bildebene durchläuft, aufweisen und ein Spiegel keine Öffnung für den Durchtritt eines Strahlbüschels aufweist.
|
