发明名称 |
多晶环装置 |
摘要 |
本实用新型公开一种多晶环装置,其包括顶针器、至少两晶片环、连接盘、转轴、离合器、连接板、固定座、分别提供旋转运动和上升下降运动的第一动力源和第二动力源,该顶针器与该固定座相对固定,该至少两晶片环固定于该连接盘上,该第一动力源带动该转轴转动,该离合器包括离合主动件和离合从动件,该离合从动件和连接盘相对固定该转轴的两端,该离合主动件固定在该固定座上,该第二动力源与该连接板连接,并通过该连接板带动该离合从动件上升下降,使其与该离合主动件分离或结合。本实用新型的多晶环装置具有提高晶片环在取晶位置的精度的优点。 |
申请公布号 |
CN201340845Y |
申请公布日期 |
2009.11.04 |
申请号 |
CN200820235200.5 |
申请日期 |
2008.12.18 |
申请人 |
先进光电器材(深圳)有限公司 |
发明人 |
卢炳昌 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01)I |
代理机构 |
深圳市博锐专利事务所 |
代理人 |
张 明 |
主权项 |
1、一种多晶环装置,其特征在于:包括顶针器、至少两晶片环、连接盘、转轴、离合器、连接板、固定座、分别提供旋转运动和上升下降运动的第一动力源和第二动力源,该顶针器与该固定座相对固定,该至少两晶片环固定于该连接盘上,该第一动力源带动该转轴转动,该离合器包括离合主动件和离合从动件,该离合从动件和连接盘相对固定该转轴的两端,该离合主动件固定在该固定座上,该第二动力源与该连接板连接,并通过该连接板带动该离合从动件上升下降,使其与该离合主动件分离或结合。 |
地址 |
518115广东省深圳市龙岗区横岗镇大福新村毅帮工业区3号厂房 |