发明名称 |
感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图案的形成方法以及印刷电路板的制造方法 |
摘要 |
本发明的感光性树脂组合物,其含有:(A)具有下述通式(I)~(IV)表示的二价基团的粘合剂聚合物;(B)光聚合性化合物;以及(C)光聚合引发剂,(如图)。[式(I)~(IV)中,R<sup>1</sup>、R<sup>3</sup>、R<sup>5</sup>及R<sup>6</sup>分别独立地表示氢原子或甲基,R<sup>2</sup>及R<sup>4</sup>分别独立地表示碳原子数1~3的烷基、碳原子数1~3的烷氧基、羟基或卤原子,R<sup>7</sup>表示碳原子数1~6的烷基。] |
申请公布号 |
CN101568883A |
申请公布日期 |
2009.10.28 |
申请号 |
CN200780048173.9 |
申请日期 |
2007.11.22 |
申请人 |
日立化成工业株式会社 |
发明人 |
宫坂昌宏;村松有纪子;南川华子 |
分类号 |
G03F7/033(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/028(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/033(2006.01)I |
代理机构 |
北京银龙知识产权代理有限公司 |
代理人 |
雒纯丹 |
主权项 |
1.一种感光性树脂组合物,其含有:(A)具有下述通式(I)表示的二价基团和下述通式(II)表示的二价基团和下述通式(III)表示的二价基团和下述通式(IV)表示的二价基团的粘合剂聚合物;(B)光聚合性化合物;以及(C)光聚合引发剂,[化1]<img file="A2007800481730002C1.GIF" wi="770" he="374" />[化2]<img file="A2007800481730002C2.GIF" wi="830" he="443" />[化3]<img file="A2007800481730002C3.GIF" wi="751" he="293" />[化4]<img file="A2007800481730002C4.GIF" wi="764" he="300" />式(I)、式(II)、式(III)及式(IV)中,R<sup>1</sup>、R<sup>3</sup>、R<sup>5</sup>及R<sup>6</sup>分别独立地表示氢原子或甲基,R<sup>2</sup>及R<sup>4</sup>分别独立地表示碳原子数1~3的烷基、碳原子数1~3的烷氧基、羟基或卤原子,R<sup>7</sup>表示碳原子数1~6的烷基,m或n分别独立地表示0~5的整数,m或n为2~5时,多个R<sup>2</sup>或R<sup>4</sup>相互可以相同或不同。 |
地址 |
日本东京都 |