| 发明名称 | 研磨液组合物 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种研磨液组合物，其含有包含铈和锆的复合氧化物粒子、分散剂和水系介质，其中，在通过照射CuKα1射线(λ＝0.154050nm)而获得的所述复合氧化物粒子的粉末X射线衍射光谱中，分别存在下述峰：顶点在衍射角2θ(θ为布拉格角)为28.61～29.67°的范围内的峰(第1峰)；顶点在衍射角2θ为33.14～34.53°的范围内的峰(第2峰)；顶点在衍射角2θ为47.57～49.63°的范围内的峰(第3峰)；以及顶点在衍射角2θ为56.45～58.91°的范围内的峰(第4峰)，并且，所述第1峰的半峰宽为0.8°以下。 | ||
| 申请公布号 | CN101568615A | 申请公布日期 | 2009.10.28 |
| 申请号 | CN200780047959.9 | 申请日期 | 2007.12.28 |
| 申请人 | 花王株式会社 | 发明人 | 代田真美;米田康洋 |
| 分类号 | C09K3/14(2006.01)I;B24B37/00(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I | 主分类号 | C09K3/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 白 丽;陈建全 |
| 主权项 | 1.一种研磨液组合物，其含有包含铈和锆的复合氧化物粒子、分散剂和水系介质，其中，在通过照射λ为0.154050nm的CuKα1射线而获得的所述复合氧化物粒子的粉末X射线衍射光谱中，分别存在下述峰：顶点在衍射角2θ为28.61～29.67°的范围内的第1峰；顶点在衍射角2θ为33.14～34.53°的范围内的第2峰；顶点在衍射角2θ为47.57～49.63°的范围内的第3峰；以及，顶点在衍射角2θ为56.45～58.91°的范围内的第4峰，其中，所述θ为布拉格角，所述第1峰的半峰宽为0.8°以下，在所述粉末X射线衍射光谱中，当存在由氧化铈产生的峰a1和由氧化锆产生的峰a2中的至少一个峰时，所述峰a1、a2的顶点的高度为所述第1峰的顶点高度的6.0％以下；并且，所述峰a1的顶点存在于衍射角2θ为28.40～28.59°的范围内，所述峰a2的顶点存在于衍射角2θ为29.69～31.60°的范围内。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||