| 发明名称 | 精制抗蚀剂用粗树脂的方法 | ||
| 摘要 | 提供一种精制抗蚀剂用粗树脂的方法，该方法能够有效去除副产物例如包含在粗树脂中的聚合物和低聚物。该方法提供一种精制在光致抗蚀剂组合物中使用的抗蚀剂树脂(A)的粗树脂的方法，光致抗蚀剂组合物至少包含在第一有机溶剂(C1)中溶解的抗蚀剂树脂(A)和酸生成剂(B)，其中如果光致抗蚀剂组合物中组分(A)的浓度标示为X，在粗树脂溶液中的组分(A)的粗树脂浓度标示为Y，所述粗树脂溶液包含在第二有机溶剂(C2)溶解的组分(A)的粗树脂，那么(i)制备粗树脂溶液，以便Y小于X，和(ii)接着过滤粗树脂溶液。 | ||
| 申请公布号 | CN100555079C | 申请公布日期 | 2009.10.28 |
| 申请号 | CN200480003485.4 | 申请日期 | 2004.01.29 |
| 申请人 | 东京应化工业株式会社 | 发明人 | 羽田英夫;岩井武;宫入美和;室井雅昭;厚地浩太;富田浩明 |
| 分类号 | G03F7/039(2006.01)I;C08F220/28(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/039(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 陈 平 |
| 主权项 | 1.一种精制抗蚀剂树脂(A)的粗树脂的方法，所述的抗蚀剂树脂(A)用于光致抗蚀剂组合物，该光致抗蚀剂组合物至少包含在第一有机溶剂(C1)中溶解的抗蚀剂树脂(A)和酸生成剂(B)，该方法包括：(i)制备粗树脂溶液，其中Y小于X，和(ii)过滤所述的粗树脂溶液，其中在所述光致抗蚀剂组合物中所述抗蚀剂树脂(A)的浓度标示为X，且在粗树脂溶液中的所述抗蚀剂树脂(A)的粗树脂浓度标示为Y，所述的粗树脂溶液包含在第二有机溶剂(C2)溶解的所述抗蚀剂树脂(A)的粗树脂。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||