测量光盘厚度的方法

摘要

本发明公开了一种利用光盘层的干涉效应来测量光盘厚度的方法，该方法包括：根据光的波长来检测反射光的强度并将其作为每个波长的光谱数据；将检测到的每个波长的光谱数据转换成作为反映了折射率的波长的函数的光谱值；以及通过傅立叶变换将该转换的值转换成干涉区的长度来代表光盘的层厚，检测反射光的强度具有峰值处的位置，分别作为衬底层和覆盖层的厚度。本发明所公开的方法在高精度测量光盘厚度方面具有优点。

主权项

1.一种利用光盘层的干涉效应来测量隔离层和覆盖层的厚度的方法，包括以下步骤：根据光的波长来检测反射光的强度并将其作为每个波长的第一光谱数据；将所述检测到的第一光谱数据转换成第二光谱，该第二光谱作为反映折射率的波长的函数而显示变化；利用快速傅立叶变换来变换该第二光谱；以及基于从该第二光谱变换的光谱，来检测反射光的强度具有峰值处的位置，分别作为光盘的隔离层和覆盖层的厚度。