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发明名称 FINE PATTERN TRANSFER MATERIAL
摘要
申请公布号 EP2111566(A2) 申请公布日期 2009.10.28
申请号 EP20080711310 申请日期 2008.02.07
申请人 SHOWA DENKO K.K. 发明人 FUJITA, TOSHIO;UCHIDA, HIROSHI;MORINAKA, KATSUTOSHI;HIROSE, KATSUMASA
分类号 G03F7/00;G03F7/075 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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