微抓举式致动器之元件布局设计

摘要

本发明系关于一种微抓举式致动器之元件布局设计，其系于致动平板上增设蚀刻孔，可加速致动平板微结构的释放，有效降低致动平板前端所累积之残留电荷，以延长其生命周期并降低驱动电压；而且本发明在多晶矽支撑梁与致动平板连接处加入特殊导角设计，可增加支撑梁的弯曲刚性，进一步有效提升微抓举式致动器元件制造良率，并减少其致动期间因结构断裂而故障的机率。

主权项

一种微抓举式致动器之元件布局设计，其包含一致动平板，该致动平板系以支承梁与主结构层连接，其中，支承梁与主结构层之连接处具有导角设计，致动平板尾端设有至少一个以上的蚀刻孔。