发明名称 |
仅具有限可萃取物之高强度化学抗性积层薄膜 |
摘要 |
一种化学抗性、无可萃取物的含聚醯亚胺、PFA与m-PTFE层之复合积层薄膜。 |
申请公布号 |
TWI315260 |
申请公布日期 |
2009.10.01 |
申请号 |
TW091121334 |
申请日期 |
2002.09.18 |
申请人 |
恩特葛瑞斯公司 ENTEGRIS, INC. 美国;淀川高科技股份有限公司 YODOGAWA HI-TECH CO., LTD. 日本 |
发明人 |
桥本幸雄;甘利睦浩;小川勉 |
分类号 |
B32B27/08 |
主分类号 |
B32B27/08 |
代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
主权项 |
一种化学抗性、无可萃取物的积层薄膜,包含:一聚醯亚胺层固定于一由PFA所组成之黏着层,依次固定于一m-PTFE层,此m-PTFE层配置暴露于一流体,其中该m-PTFE具有低的结晶度,可降低数千次弯曲循环后产生之纤维化。 |
地址 |
美国;日本 |