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经营范围
发明名称
小型烟雾质喷射及烟雾质喷射排列
摘要
一种小型烟雾质喷射,或一种小型烟雾质喷射排列,用以直接印刷不同烟雾质材料。于最常使用之实施例中,一烟雾质流聚焦且沉积于一平面或非平面目标上,形成由热或光化学处理以达成接近对应块状材料之物理、光学、及/或电气性质之一图案。该设备使用一烟雾质喷射沉积头以形成由一外部护套流与一内部装满烟雾质载体流之一环状传播喷射。沉积头之小型化促进排列沉积头之制造与操作,使得烟雾质喷射排列之建构与操作可独立动作与沉积。排列烟雾质喷射提供一增加之沉积率、排列沉积、及多重材料沉积。
申请公布号
TWI315355
申请公布日期
2009.10.01
申请号
TW094144071
申请日期
2005.12.13
申请人
奥托美克设计公司
发明人
芮, 麦可J. RENN, MICHAEL J.;金, 布鲁斯H. KING, BRUCE H.;宝森, 杰森A. PAULSEN, JASON A.
分类号
C23C18/06
主分类号
C23C18/06
代理机构
代理人
周哲民
主权项
一种用以沉积一材料于一目标上之沉积头组合,该沉积头组合包含一沉积头,其包含:一通道,用以运送包含该材料之一烟雾质;一或多个入口,用以将一护套气体引入该沉积头中;一第一腔室,连接至该入口;一区域,靠近该通道之一出口,用以结合该烟雾质与该护套气体,藉此形成包含环绕一内部烟雾质流之一外部謢套流之一环状喷射;及一延伸喷嘴。
地址
美国
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