静电卡盘及其制造方法

摘要

本发明提供一种在具有由导电体层以及夹着导电体层的绝缘层构成的层叠构造的静电卡盘的周围所形成的陶瓷喷镀膜与基材具有良好的粘接性，并且在操作时，即使外部冲击力作用于静电卡盘，喷镀膜也不易破损的静电卡盘。本发明的静电卡盘是包括被绝缘体层夹着的金属层的层叠构造的静电卡盘，在上述金属层周边的露出部分上形成的凹部通过绝缘性喷镀膜而被覆盖。该静电卡盘的喷镀膜，优选至少将露出于上述凹部内侧的上述金属层覆盖，且以不从上述凹部突出的方式进行覆盖。由此，能够防止金属层漏电以及金属层腐蚀，并且在操作时即使外部冲击力作用于喷镀膜，也能够防止喷镀膜的破损。

主权项

1. 一种静电卡盘，其是包括被绝缘体层所夹着的金属层的层叠构造的静电卡盘，其特征在于：形成在所述金属层周边的露出部分的凹部被绝缘性的喷镀膜覆盖。