基板处理系统

摘要

在传送控制表上，生成不同的A组、B组的传送时间表SA及传送时间表SB，在不与先行的A组的传送时间表SA产生干扰的范围内，使后续的传送时间表SB沿所述时间轴方向一直向前移动，使后续的传送时间表SB的开始时间比先行的A组的传送时间表SA的结束时间早，使传送时间表SA与传送时间表SB并行实施，由此可提高晶片的传送处理的生产率。

主权项

1. 一种基板处理系统，根据规定的处理顺序，对多个基板依次实施多次处理，该基板处理系统包括：多个模块，用于传入传出基板；基板传送机构，在所述多个模块之间传送基板；以及，控制部，控制所述基板传送机构，以使对所述多个模块实施包含由第一传送流程传送的多个基板的第一组的基板处理，接着，对所述多个模块实施包含由与所述第一传送流程不同的第二传送流程传送的多个基板的第二组的基板处理，所述控制部包括：传送控制表，其由二维表构成，该二维表分别在所述第一组的基板处理以及所述第二组的基板处理中，将传送时间表进行存储，该传送时间表表示基板的传送时间与传入传出该基板的所述模块之间的关系，并且该二维表由时间轴和传送流程轴构成，该时间轴用于将以规定的周期进行所述基板的传送动作的传送时间进行设定，该传送流程轴用于将传入传出所述基板的所述模块进行排列；以及控制器，所述控制器具有如下功能：在所述传送控制表中，通过将所述传送时间的其中一个及所述模块的其中一个进行指定进而特定的内容定义为一个单元，并对多个单元设定进出所述模块的各个基板的识别信息，来生成以组为单位的多个基板的所述传送时间表；在所述传送控制表上设定的、由所述第一组的传送时间表中包含的多个单元的集合即第一单元群构成的第一图形和由所述第二组的传送时间表中包含的多个单元的集合即第二单元群构成的第二图形的轮廓互不干扰的范围内，使所述第二单元群的整体，朝向所述第一单元群并沿所述时间轴方向一直向前移动；以及，根据从所述传送控制表按每个所述传送时间读出的所述传送时间表，来控制所述基板传送机构。