坩埚固持元件及其制造方法

摘要

一种坩埚固持元件用以固持盛装一矽熔化物之一石英坩埚，坩埚固持元件包括网眼部以及基质，网眼部藉由复数细线编织成形，每一细线包括复数碳纤维，而基质填满于位于碳纤维之间的空隙，网眼部具有三轴编织结构，其包括复数第一细线以及复数第二细线，该等第一细线相对于轴沿第一方向排列且以第一角度倾斜，而第二细线以第二方向排列并且与第一角度相同相对轴以第二角度倾斜，以该轴来看，第一方向与第二方向相对应。