具有抗反射特性之硬质罩幕组成物及使用其将材料图案化之方法

摘要

提供一种具有抗反射特性之硬质罩幕组成物。该硬质罩幕组成物适合用于微影术，提供优异光学性质及机械性质且具有高蚀刻选择性。此外，该硬质罩幕组成物可藉旋涂技术方便施用。使用该硬质罩幕组成物所形成之硬质罩幕层系与积体电路制造方法可相容。较佳该硬质罩幕组成物系可用于短波长微影术。