微致动器以及具有微致动器的装置

摘要

本发明的微致动器包括：基台(1)；可以相对于基台(1)变位的可动部(7)；支承可动部(7)的弹性支承部(6)；以及使可动部(7)变位的驱动部(4a～4c)。通过在与可动部(7)的垂直方向上的变位对应的弹簧常数、和与可动部(7)的倾动角度对应的弹簧常数之间保持特定的关系，从而增大驱动力与可动部(7)的变位之间的对角性，以此来实现微致动器的控制的高精度化以及简洁化。

主权项

1.一种微致动器，其包括：基台；可动部，其可以相对于所述基台变位；弹性支承部，其按照可以进行所述可动部的相对于所述基台的垂直方向变位、以及相对于所述基台的倾动的方式支承所述可动部；以及多个驱动部，其使所述可动部相对所述基台变位，所述可动部的至少一部分具有导电性，所述多个驱动部分别具有与所述可动部对置的电极，所述多个驱动部分别利用在所述可动部与所述电极之间产生的静电力，驱动所述可动部，所述多个驱动部包含第一驱动部和第二驱动部，在所述第一驱动部传递到所述可动部上的第一驱动力的第一作用点、和所述第二驱动部传递到所述可动部上的第二驱动力的第二作用点之间的位置，所述弹性支承部支承所述可动部，当与所述可动部相对于所述基台的垂直方向上的变位相对应而在所述弹性支承部产生的复原力的弹簧常数设为kz(N/m)，与所述可动部相对于所述基台的倾动角度相对应而在所述弹性支承部产生的复原转矩的弹簧常数设为kr(Nm/rad)，将所述第一作用点与所述第二作用点之间的距离设为2L(m)时，所述kz、所述kr以及所述L满足0.5≤L2·kz/kr≤2的关系。