物理气相沉积蒸镀机的被镀物固持装置

摘要

一种物理气相沉积蒸镀机的被镀物固持装置，该固持装置设置在蒸镀机内部，用于被镀物的固定设置，其包括有：传动机构及固接机构；其中，该传动机构具有固定轴及与该固定轴相连接的传动组件，而该固接机构具有与该传动机构的固定轴呈非平行设置的旋转轴、用于固持旋转轴的支撑臂及带动该旋转轴与支撑臂绕着传动机构进行旋转运动的转盘构件，在该旋转轴的两端分别连接有转动件及固接座，该转动件与传动组件相互配合转动，使该固接座产生倾斜状旋转运动；由此，可将纳米离子连续均匀的披覆在被镀物的表面上，以增加被镀物的表面硬度、耐磨性等机械性质及延长使用寿命。

主权项

1.一种物理气相沉积蒸镀机的被镀物固持装置，所述固持装置设置在蒸镀机内部，用于固定设置被镀物，其特征在于，包括：传动机构，其具有固定轴及与所述固定轴相连接的传动组件；以及至少一个固接机构，其具有与所述传动机构的固定轴呈非平行设置的旋转轴、用于固持所述旋转轴的支撑臂及带动所述旋转轴与支撑臂绕着传动机构进行旋转运动的转盘构件，在所述旋转轴的两端分别设置有转动件及固接座，所述转动件与传动组件相互配合转动，使所述固接座产生倾斜状的旋转运动；其特征在于，所述固接机构的固接座包括有底盘、设置在所述底盘上方并与底盘间形成有间隔空间的第一插盘及环绕设置在所述底盘与第一插盘的环体，在所述底盘及环体上分别开设有多个穿孔。