发明名称 |
垂向调节机构 |
摘要 |
本实用新型提供一种便于精确定位的垂向调节机构。该垂向调节机构包括:支撑底板;中间驱动机构,包括三角板、导向簧片、三个凸轮机构;工作台;三个测量机构;第一等高块、第二等高块、第三等高块设置于所述三角板和所述支撑底板之间;第一定位销、第二定位销穿过所述三角板,并分别穿过所述第一等高块、所述第二等高块,固定于所述支撑底板;紧固螺钉,其穿过所述三角板及第三等高块固定于所述支撑底板。该垂向调节机构保证滚子与凸轮的对心精度;使用该机构来避开中间环节,直接保证工作台和支撑底板的相对位置精度;此外在该垂向调节机构需要换件、调整、拆卸时能快捷的把几个重要件的位置还原,保证重复精度,尽可能减少工作量。 |
申请公布号 |
CN201287328Y |
申请公布日期 |
2009.08.12 |
申请号 |
CN200820154026.1 |
申请日期 |
2008.10.14 |
申请人 |
上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
发明人 |
周清华 |
分类号 |
B25H1/14(2006.01)I |
主分类号 |
B25H1/14(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所 |
代理人 |
屈 蘅;李时云 |
主权项 |
1、一种垂向调节机构,包括:支撑底板;中间驱动机构,包括三角板、三个导向簧片、三个凸轮机构,设置于所述支撑底板上;工作台设置于所述三角板上;三个相同的测量机构设置于所述支撑底板上,且分别与所述三角板的三个边部平行;其特征在于:所述三角板和所述支撑底板之间设置有第一等高块、第二等高块、第三等高块;第一定位销、第二定位销穿过所述三角板,并分别穿过所述第一等高块、所述第二等高块,固定于所述支撑底板;紧固螺钉,穿过所述三角板及第三等高块,固定于所述支撑底板。 |
地址 |
201203上海市张江高科技园区张东路1525号 |