| 发明名称 | 测量设备 | ||
| 摘要 | 一种测量设备，其标尺座在多个排列在测量方向(Y方向)上的位置固定到基底上，在该测量方向上由标尺进行测量。狭缝设置在标尺座上，其位置是在标尺座固定到基底的位置之间。在标尺座固定到基底上的两个或更多个位置上，由标尺座支撑标尺。除了标尺座固定至基底的位置以外，基底和标尺座之间在适当位置，以及除了标尺座支撑标尺的位置以外，标尺和标尺座之间在适当位置，标尺座分别具有间隙。 | ||
| 申请公布号 | CN101498571A | 申请公布日期 | 2009.08.05 |
| 申请号 | CN200910007273.8 | 申请日期 | 2009.02.01 |
| 申请人 | 三丰株式会社 | 发明人 | 西辻丰;木村义治 |
| 分类号 | G01B5/02(2006.01)I;G01B11/02(2006.01)I | 主分类号 | G01B5/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 何秀明 |
| 主权项 | 1. 一种测量设备，包括：基底；在基底的多个位置上固定至基底的标尺座，该基底位于由标尺实施测量的测量方向上；支撑在标尺座上的标尺；以及在位于标尺座固定至基底的位置之间的位置中，至少在标尺座中提供的狭缝，其中，在标尺座固定至基底的两个或多个位置处，通过标尺座支撑标尺，和其中，除了标尺座固定至基底的位置以外，基底和标尺座之间在适当位置，以及除了标尺座支撑标尺的位置以外，标尺和标尺座之间在适当位置，标尺座分别具有间隙。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||