喷嘴及具有该喷嘴的基板处理装置

摘要

本发明提供一种喷嘴及具有该喷嘴的基板处理装置，喷嘴具有沿水平方向延伸的臂管部和以从臂管部的另一端向下弯曲的方式形成的下游管部。该喷嘴，在第2树脂管的内部设置有金属管。该金属管的内部设置有第1树脂管。第1树脂管和第2树脂管之间，在金属管的前端部安装有轴套。在喷嘴的前端部上，通过焊接用树脂将第1树脂管的外周面、第2树脂管的端面和轴套的端面焊接。由此，通过第1树脂管、第2树脂管、轴套和焊接用树脂可靠地覆盖金属管。

主权项

1. 一种喷嘴，支承在规定的支承部件上，用于对基板供给处理液，其特征在于，该喷嘴具有，第1树脂管，该第1树脂管内部流通上述处理液，端部具有喷出上述处理液的喷出口，并由规定的树脂材料构成；金属管，该金属管以覆盖第1树脂管外周的方式设置，并由规定的金属材料构成。