真空加工设备

摘要

在此公开了一种真空加工设备，用于在其中建立真空环境之后对基板执行所需工艺。更具体而言，所述真空加工设备包括真空室，该真空室分为室体和上盖。所述上盖配置成容易从室体打开以及关闭到室体。

主权项

1. 一种真空加工设备，包括：室体，其具有用于使基板能够进行装载和卸载的闸式阀；以及可分离地设置在所述室体上的上盖，所述加工设备进一步包括：输送提升机夹具系统，并且其中，所述输送提升机夹具系统包括：多边形柱状的主体，其具有厚度，该主体在中心设置有连接环；以及多个连接环，各连接环被分别设置在所述主体下表面的相应拐角处以在对角线方向上向主体的中心或远离主体的中心移动，并且连接到所述上盖和所述上盖一起向上和向下移动，所述多个连接环同时向内或向外移动而改变位置。