发明名称 ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА ДЛЯ МАНИПУЛИРОВАНИЯ ПЛАСТИНАМИ
摘要 1. Система для манипулирования пластинами (W) внутри устройства (1) обработки, содержащая систему (10) всасывания, оснащенную входным отверстием всасывания, причем упомянутая система (10) обеспечивает задаваемое или регулируемое всасывание, всасывающую трубу (7), имеющую первый конец и второй конец, причем упомянутый первый конец соединен с входным отверстием всасывания системы (10) всасывания, приспособление (6) для манипулирования пластинами (W) и для удержания их посредством всасывания и соединенное со вторым концом всасывающей трубы (7), и устройство для регулировки давления во всасывающей трубе в дополнение к возможному регулирующему средству упомянутой системы (10) всасывания; при этом упомянутое регулирующее устройство содержит клапан (8), соединенный с всасывающей трубой (7) и способный открываться, когда давление во всасывающей трубе (7) падает ниже заданного значения. ! 2. Система по п.1, в которой клапан (8) содержит проход (80), пружину (85) и подвижный элемент (83, 84), способный закрывать упомянутый проход (80) под действием упомянутой пружины (85). ! 3. Система по п.2, в которой проход (80) соединяется на одной стороне с всасывающей трубой (7). ! 4. Система по п.3, в которой проход (80) соединяется на второй стороне с внутренней камерой (3) упомянутого устройства обработки. ! 5. Система по п.1, в которой клапан (8) может калиброваться, и упомянутое заданное значение зависит от калибровки упомянутого клапана (8). ! 6. Система по п.5, отличающаяся тем, что она содержит калибрующий винт (86), который действует на пружину (85), при этом калибровка клапана (8) осуществляется с помощью вращения винта (86). ! 7. Система по п.1, в которой система (10) всасывания содер�
申请公布号 RU2007148909(A) 申请公布日期 2009.07.10
申请号 RU20070148909 申请日期 2005.05.26
申请人 ЛПЕ С.П.А. (IT) 发明人 ОЛЬЯРИ Винченцо (IT);ПРЕТИ Франко (IT)
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
地址