| 发明名称 | 一种晶圆升降台及其晶圆测试机 | ||
| 摘要 | 本发明一种晶圆升降台，包含：第一容置区与第二容置区，该第一容置区容置至少一晶圆盒，该晶圆盒具有一开口以容许承载晶圆片的晶舟自晶圆盒内移出至该第二容置区；一驱动模块，用以提供该晶舟的位置升降；一感测装置；以及一控制装置，用以接收来自该感测装置所传送的信号，根据该信号控制该晶圆升降台的作动；其特征在于：该感测装置的感测区在该第二容置区内形成至少一个基准面，该基准面邻近于晶圆片的外缘，且垂直于晶圆片的平面，当该晶舟内的晶圆片出现位置的偏移而与该基准面形成干涉而触发该感测装置时，该控制装置即停止晶圆升降台的运作。 | ||
| 申请公布号 | CN101477961A | 申请公布日期 | 2009.07.08 |
| 申请号 | CN200810001905.5 | 申请日期 | 2008.01.03 |
| 申请人 | 京元电子股份有限公司 | 发明人 | 林世芳;李沛勋 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 周国城 |
| 主权项 | 1、一种晶圆升降台，包含有：第一容置区与第二容置区，该第一容置区容置至少一晶圆盒，该晶圆盒具有一开口以容许承载晶圆片的晶舟，自晶圆盒内移出至该第二容置区；一驱动模块，用以提供该晶舟的位置升降；一感测装置；以及一控制装置，用以接收来自该感测装置所传送的信号，并根据该信号以控制该晶圆升降台的作动；其特征在于：该感测装置的感测区在该第二容置区内形成至少一个基准面，该基准面邻近于晶圆片的外缘，且垂直于晶圆片的平面，当该晶舟内的晶圆片出现位置的偏移而与该基准面形成干涉而触发该感测装置时，该控制装置即停止晶圆升降台的运作。 | ||
| 地址 | 台湾省新竹市 | ||