发明名称 |
一种用于消除静电的系统 |
摘要 |
一种用于消除静电的系统,包括一机械手臂;一夹爪,设置在该机械手臂前端;以及一杆状式静电消除器,设置在该机械手臂上,其中该杆状式静电消除器调整固定于一角度以调整该杆状式静电消除器的涵盖角度,该杆状式静电消除器包括:一长形杆体,该长形杆体内设有一高压气体管路及一电源装置;多个放电针,设置在该长形杆体上,并电性连接该电源装置;以及多个喷嘴,设置在该长形杆体上,所述喷嘴各自对应于所述放电针,并与该高压气体管路相通。 |
申请公布号 |
CN100508156C |
申请公布日期 |
2009.07.01 |
申请号 |
CN200710199151.4 |
申请日期 |
2006.04.28 |
申请人 |
友达光电股份有限公司 |
发明人 |
刘家彰;陈庆育;赵启仲 |
分类号 |
H01L21/677(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;H05F3/04(2006.01)I;B65G47/90(2006.01)I;B65G49/06(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/677(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
彭久云 |
主权项 |
1. 一种用于消除静电的系统,该系统包括:一机械手臂;一夹爪,设置在该机械手臂前端;以及一杆状式静电消除器,设置在该机械手臂上,其中该杆状式静电消除器调整固定于一角度以调整该杆状式静电消除器的涵盖角度,该杆状式静电消除器包括:一长形杆体,该长形杆体内设有一高压气体管路及一电源装置;多个放电针,设置在该长形杆体上,并电性连接该电源装置;以及多个喷嘴,设置在该长形杆体上,所述喷嘴各自对应于所述放电针,并与该高压气体管路相通。 |
地址 |
中国台湾新竹市 |