发明名称 Geraet zur elektronenoptischen Bearbeitung von Halbleitermaterialien
摘要
申请公布号 DE902757(C) 申请公布日期 1954.01.28
申请号 DE1951L010057 申请日期 1951.09.09
申请人 LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-G.M.B.H. 发明人 SCHNEIDER DIPL.-PHYS. WILHELM
分类号 H01J37/16;H01J37/18 主分类号 H01J37/16
代理机构 代理人
主权项
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