光照射装置

摘要

本发明提供一种可以在力求节电的同时避免部件数量增加，而且相对于密封材的图案独立地对密封材进行光照射的光照射装置。紫外线照射装置(1)的载置台(13)具有载置通过光硬化树脂所形成的线状密封材粘合而成的2片基板所形成的粘合基板(W)的载置面。紫外线照射装置(1)具有按线状排列有可进行光照射并且可单独打开关闭的多个UVLED的照射部(22a～22d)。各照射部(22a～22d)从多个UVLED其中至少一个使与密封材的宽度相符的线状光朝向粘合基板W照射。X轴致动器(19)可以在载置台(13)其中载置粘合基板W的载置面的平行面内使各照射部(22a～22d)沿与UVLED排列方向相交的方向移动。控制部根据密封材的图案对各UVLED进行打开关闭。

主权项

1. 一种光照射装置，其对介于2片基板之间的光硬化树脂所形成的线状密封材(71，72)进行光照射，其特征在于，包括：载置台(13)，具有载置由所述密封材粘合的所述2片基板所形成的粘合基板(W)的载置面；照射部(22a～22d)，其中按线状排列有可进行光照射并且可分别独立地打开关闭的多个半导体元件(52)，使与所述密封材的宽度相符的线状光朝向所述粘合基板照射；第一驱动部(19)，在与所述载置台的载置所述粘合基板的载置面平行的面内使所述照射部沿与所述半导体元件的排列方向相交的方向移动；控制部(34)，根据所述密封材的图案对所述各半导体元件进行打开关闭。