| 主权项 |
1.一种蓝膜扩张装置，包括：一工作台，其中间设一圆形孔容置空间，此工作台前缘下方设一卡勾闭锁气缸，一扩张盘，设于该容置空间内，此扩张盘设一外缘沟槽且扩张盘外缘高于该外缘沟槽底部，该外缘沟槽底部设有数个顶销孔，一切刀座，设于该扩张盘下方，此切刀座设一单斜面沟槽，此沟槽外缘设一环状锯齿切刀，此锯齿切刀由数个弧形切刀迫紧块固定，此切刀迫紧块中间设有数个顶销，该切刀座由切刀气缸作升降，一掀盖，中间设有圆孔，一端设有铰链与该工作台连结，另一端设有卡勾与定位键，一压膜环，设于该掀盖圆孔中间，此压膜环藉由一连杆与压膜气缸连结，一压环座，设于该扩张盘上方，此压环座于环形周围设有数个撑环键，此撑环键内设撑环键弹簧，此撑环键可伸缩，该撑环键端边设一撑环钢珠与撑环弹簧，此压环座由一压环气缸作动，一作动器支架，固定于该掀盖上方，且该压膜气缸与压环气缸均固定于此作动器支架。2.如申请专利范围第1项所述之蓝膜扩张装置，其中该扩张盘系由一伺服马达提供升降。图式简单说明：第一图为本创作剖面正面图第二图为掀盖盖合准备扩张状态，第三图为习用扩张成品，蓝膜残料往内包覆使蓝膜黏面朝外第四图为本创作扩张之成品，蓝膜残料往外包覆使蓝膜非黏面朝外第五图为本创作扩张之成品，经调高扩张盘外缘高度，使蓝膜残料完全往外包覆塑胶外环第六图为塑胶内外环与蓝膜已置放于定位第七图为扩张盘上升，使蓝膜与晶圆被扩张第八图为塑胶外环套住塑胶内环，使蓝膜夹于两者中间，锯齿切刀切断蓝膜第九图为压环座上升，顶销将成品顶出脱离扩张盘，以便取出成品 |
