| 摘要 |
Eine Linearführung mit integriertem Linearmotor weist einen ortsfesten, in Führungsrichtung (X) erstreckten Träger (1), einen in Führungsrichtung (X) beweglichen Tisch (2) und einen Linearmotor (3) auf, dessen bewegliches Teil (3.1) mit dem Tisch (2) und dessen ortsfester Teil (3.2) mit dem Träger (1) verbunden ist. Die Linearführung weist ferner berührungslose Lager (7) zwischen dem Träger (1) und dem Tisch (2) sowie mit auf elektromagnetischer Wechselwirkung beruhende Mittel (6) zum Positionieren des Tisches (2) quer zur führungsrichtung (X) auf. Die Linearführung verfügt zudem über ein integriertes Lagemesssystem mit einem Maßstab (4) und Abtastköpfen (5.1, 5.2), mit dem die Lage des Tisches (2) sowohl in Führungsrichtung (X) als auch in einer Abweichungsrichtung (Y) erfassbar ist, die quer zur Führungsrichtung (X) und parallel zu einer Ebene eines Luftspalts (3.4) des Linearmotors (3) liegt. Die Mittel (6) wirken dabei so, dass der Tisch (2) in Abweichungsrichtung (Y) positioniert wird. |
