聚酰亚胺/氧化硅复合材料的前驱溶液、其制法及制得的复合材料

摘要

本发明涉及一种聚酰亚胺/氧化硅复合材料的前驱溶液的制备方法，及在基材上形成聚酰亚胺/氧化硅复合材料薄膜的方法，其包含添加一种硅烷化合物单体使聚酰胺酸带有氧化硅基团，添加具有式(R⁶)_xSi(R⁷)_(4-x)的单体使氧化硅基团带有可感光聚合的不饱和基团，及添加式R⁸N(R⁹)₂的单体使聚酰胺酸带有可感光聚合的不饱和基团。其中，R⁶、R⁷、R⁸、R⁹与x如说明书中所定义。本发明还涉及一种聚酰亚胺/氧化硅复合材料的前驱溶液及聚酰亚胺/氧化硅复合材料。本发明的复合材料可用于微电子与半导体组件及光电组件。

主权项

1. 一种聚酰亚胺/氧化硅复合材料的前驱溶液的制备方法，该方法包括：(A)提供一种聚酰胺酸溶液；(B)将一种通式H2N-R1-Si(R2)3的胺基偶合剂加入步骤(A)的溶液中，通式中R1为C1-6亚烃基或亚芳基，及R2可为相同或不同，各代表C1-6烷氧基；(C)将一种硅烷化合物单体加入步骤(B)所得溶液中，使聚酰胺酸带有氧化硅基团，所述的硅烷化合物单体具有通式Si(R3)4，及所述各个R3为可相同或不同代表卤素、C1-6烷氧基、C2-6烯氧基或芳氧基，限制条件为4个R3不同时为卤素；(D)将一种通式(R6)xSi(R7)(4-x)的单体加入步骤(C)所得溶液中，使氧化硅基团带有可感光聚合的不饱和基团；通式中R6为末端带有可感光聚合的不饱和基团的基团，R7为卤素、C1-6烷氧基、C2-6烯氧基、或芳氧基，及x为1至3的整数及(E)将一种通式R8N(R9)2的单体加入步骤(D)所得溶液中，通式中R8为末端带有可感光聚合的不饱和基团的基团，及R9为C1-6烷基，使聚酰胺酸带有可感光聚合的不饱和基团，得到一种可感光聚合的聚酰亚胺/氧化硅复合材料的前驱溶液；所述可感光聚合的不饱和基团是乙烯属不饱和基团，选自由乙烯基、烯丙基、乙烯基苯基、烯丙基苯基、丙烯氧基甲基、丙烯氧基乙基、丙烯氧基丙基、丙烯氧基丁基、丙烯氧基戊基、丙烯氧基己基、甲基丙烯氧基甲基、甲基丙烯氧基乙基、甲基丙烯氧基丙基、甲基丙烯氧基丁基、甲基丙烯氧基戊基及甲基丙烯氧基己基所组成的群组。