光刻设备和器件制造方法

摘要

本发明公开了一种浸没式光刻设备以及一种器件制造方法。所述浸没式光刻设备包括流体限制系统，所述流体限制系统配置用于将流体限制到在投影系统和衬底之间的空隙。流体限制系统包括用于供给流体的流体入口，所述流体入口连接到入口端口和出口端口。所述浸没式光刻设备和包括流体供给系统，所述流体供给系统配置用于通过改变被提供给入口端口的流体的流量和从出口端口去除的流体的流量来控制经过流体入口的流体的流动。

主权项

1. 一种浸没式光刻设备，所述浸没式光刻设备包括：流体限制系统，所述流体限制系统配置用于将流体限制到投影系统和衬底之间的空隙中，所述流体限制系统包括配置用于供给流体的流体入口，所述流体入口连接到入口端口和出口端口；以及流体供给系统，所述流体供给系统配置用于通过改变提供到所述入口端口的流体的流量和从所述出口端口去除的流体的流量来控制经过所述流体入口的流体流。