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发明名称
LAM RESEARCH TCP/RAINBOW SERIES ELECTRO STATIC CHUCK DECHUCKING KIT
摘要
申请公布号
KR100899078(B1)
申请公布日期
2009.05.25
申请号
KR20080075859
申请日期
2008.07.31
申请人
KIM, JUN GYU
发明人
KIM, JUN GYU
分类号
H01L21/687;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/683
主分类号
H01L21/687
代理机构
代理人
主权项
地址
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