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发明名称 Plasmabehandlungsgerät
摘要
申请公布号 DE60138239(D1) 申请公布日期 2009.05.20
申请号 DE20016038239 申请日期 2001.02.27
申请人 HITACHI LTD. 发明人 KAZUMI, HIDEYUKI;SASAKI, ICHIRO;MAEDA, KENJI;TETSUKA, TSUTOMU;KAWAHARA, HIRONOBU
分类号 H01J37/32;H05H1/46;B01J19/08;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
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