多通道光谱量测装置与相位差解析方法

摘要

本发明利用一多通道光谱量测装置，其利用多通道影像光谱仪结合光纤数组式的偏振光束控制探头，达到同时多个待测样品点的量测。偏振光束收光探头的设计上，利用偏振分光镜同时将接收的偏振光束分成垂直及水平偏振态光束，并分别由两组聚焦透镜收光至光纤数组式的多通道影像光谱仪，以此可以在不需转动收光偏振控制探头情况下，根据能量损失校正参数与量测偏振光的P波与S波偏振光分量快速计算得到垂直及水平偏振态光束的强度归一化光谱讯号，并通过数学运算求解得到相位差参数信息。

主权项

1、一种多通道光谱量测装置，包括：一发光单元，其提供复数道具宽带的导光光束；一投光单元，其将该复数道导光光束调制成复数道线性偏振光，并投射至一待测物上以形成复数道侦测光；一收光单元，其接收该复数道侦测光，该收光单元将每一道侦测光分光以形成一第一偏振光束以及一第二偏振光束；以及一影像处理单元，其接收该复数道第一偏振光束以及该复数道第二偏振光束，并进行演算处理。