等离子体处理装置

摘要

本发明提供一种等离子体处理装置，其能够最大限度地减少滤波电路内的RF电力损失量及其机械偏差，提高工艺性能的再现性、信赖性，其中，该滤波电路用于使不需要的高频噪声衰减。在该等离子体处理装置中，设置在第一和第二供电线上的2系统的第一段空芯线圈单体(A(1)、A(2))彼此以同心状安装在线圈卷轴(114A)上。即，分别构成两个空芯线圈(A(1)、A(2))的线圈导线沿共同的线圈卷轴(114A)的外周面在线圈卷轴方向上重叠并进且以相等的卷线长度卷成螺旋状。同样，第二段空芯线圈单体(B(1)、B(2))彼此各自的线圈导线也沿共同的线圈卷轴(114B)的外周面在线圈卷轴方向上重叠并进且以相等的卷线长度卷成螺旋状。

主权项

1. 一种等离子体处理装置，其将输出第一高频的第一高频电源电连接在设置于能够减压的处理容器内的第一电极上，并设置有用于使从发热体进入第一和第二供电线上的高频噪声衰减的滤波电路，该第一和第二供电线用于电连接设置在所述第一电极上的所述发热体和加热器电源，该等离子体处理装置的特征在于：在所述第一和第二供电线上从所述发热体看，在所述滤波电路的初段分别设置有第一和第二空芯线圈，所述第一和第二空芯线圈相互同轴，且具有大致相等的卷线长度。