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发明名称
Modularer, CVD-Epitaxischer, 300 MM Reaktor
摘要
申请公布号
DE112007001548(T5)
申请公布日期
2009.05.07
申请号
DE200711001548T
申请日期
2007.06.26
申请人
APPLIED MATERIALS INC.
发明人
BURROWS, BRIAN H.;METZNER, CRAIG R.;DEMARS, DENNIS L.;ANDERSON, ROGER N.;CHACIN, JUAN M.;CARLSON, DAVID K.;ISHIKAWA, DAVID MASAYUKI;CAMPBELL, JEFFREY;COLLINS, RICHARD O.;MAGILL, KEITH M.;AFZAL, IMRAN
分类号
H01J9/38
主分类号
H01J9/38
代理机构
代理人
主权项
地址
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