可变平行电容板之制造方法

摘要

本发明提出一种可变平行电容板之制造方法，包含：形成一结构体，其包含一介电层、一金属层以及一保护层，其中该介电层含有一引洞结构；在该保护层上定义一蚀刻窗；以一蚀刻液自该蚀刻窗并经该引洞结构进行蚀刻；清除该蚀刻液；移除该保护层；以及进行一蚀刻以形成该微机械结构。