发明名称 一种p-NiO/n-Mg<sub>x</sub>Zn<sub>1-x</sub>O禁带宽度梯度化p-n结二极管及其制备方法
摘要 本发明公开了一种p-NiO/n-Mg<sub>x</sub>Zn<sub>1-x</sub>O禁带宽度梯度化p-n结二极管,由p-NiO薄膜和禁带宽度梯度化Mg<sub>x</sub>Zn<sub>1-x</sub>O薄膜构成,其中x=0~0.1。本发明还公开了所述p-n结二极管的制备方法,包括如下步骤:制备NiO前驱液;制备ZnO及Mg<sub>x</sub>Zn<sub>1-x</sub>O前驱液;制备Mg<sub>x</sub>Zn<sub>1-x</sub>O梯度薄膜;在上述Mg<sub>x</sub>Zn<sub>1-x</sub>O梯度薄膜上制备NiO薄膜;上述薄膜干燥后在500~600℃下退火,然后冷却到室温,制得禁带宽度梯度化p-NiO/n-Mg<sub>x</sub>Zn<sub>1-x</sub>Op-n结二极管。本发明提供的p-n结二极管的结构有利于提高以ZnO为基础的光电器件的性能,制备方法简单、成本低、易控制化学组成,应用前景广阔。
申请公布号 CN101419988A 申请公布日期 2009.04.29
申请号 CN200810199119.0 申请日期 2008.10.14
申请人 中山大学 发明人 包定华;陈心满
分类号 H01L29/861(2006.01)I;H01L29/267(2006.01)I;H01L21/329(2006.01)I 主分类号 H01L29/861(2006.01)I
代理机构 广州粤高专利代理有限公司 代理人 陈 卫
主权项 1. 一种p-NiO/n-MgxZn1-xO禁带宽度梯度化p-n结二极管,其特征在于由p-NiO薄膜和禁带宽度梯度化MgxZn1-xO薄膜构成,其中x=0~0.1。
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