发明名称 |
一种p-NiO/n-Mg<sub>x</sub>Zn<sub>1-x</sub>O禁带宽度梯度化p-n结二极管及其制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种p-NiO/n-Mg<sub>x</sub>Zn<sub>1-x</sub>O禁带宽度梯度化p-n结二极管,由p-NiO薄膜和禁带宽度梯度化Mg<sub>x</sub>Zn<sub>1-x</sub>O薄膜构成,其中x=0~0.1。本发明还公开了所述p-n结二极管的制备方法,包括如下步骤:制备NiO前驱液;制备ZnO及Mg<sub>x</sub>Zn<sub>1-x</sub>O前驱液;制备Mg<sub>x</sub>Zn<sub>1-x</sub>O梯度薄膜;在上述Mg<sub>x</sub>Zn<sub>1-x</sub>O梯度薄膜上制备NiO薄膜;上述薄膜干燥后在500~600℃下退火,然后冷却到室温,制得禁带宽度梯度化p-NiO/n-Mg<sub>x</sub>Zn<sub>1-x</sub>Op-n结二极管。本发明提供的p-n结二极管的结构有利于提高以ZnO为基础的光电器件的性能,制备方法简单、成本低、易控制化学组成,应用前景广阔。 |
申请公布号 |
CN101419988A |
申请公布日期 |
2009.04.29 |
申请号 |
CN200810199119.0 |
申请日期 |
2008.10.14 |
申请人 |
中山大学 |
发明人 |
包定华;陈心满 |
分类号 |
H01L29/861(2006.01)I;H01L29/267(2006.01)I;H01L21/329(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/861(2006.01)I |
代理机构 |
广州粤高专利代理有限公司 |
代理人 |
陈 卫 |
主权项 |
1. 一种p-NiO/n-MgxZn1-xO禁带宽度梯度化p-n结二极管,其特征在于由p-NiO薄膜和禁带宽度梯度化MgxZn1-xO薄膜构成,其中x=0~0.1。 |
地址 |
510275广东省广州市海珠区新港西路135号 |