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发明名称 Free-Standing III-N layers or devices obtained by selective masking of III-N layers during III-N layer growth
摘要
申请公布号 EP1965416(A3) 申请公布日期 2009.04.29
申请号 EP20080009577 申请日期 2006.11.28
申请人 FREIBERGER COMPOUND MATERIALS GMBH 发明人 HABEL, FRANK;SCHOLZ, FERDINAND;NEUBERT, BARBARA;BRUECKNER, PETER;WUNDERER, THOMAS
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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