平面显示器用基板输送装置

摘要

本发明涉及一种平板显示器用基板输送装置，其适用于平面显示器基板制造工序的显影工序，且通过使基板显影装置的安装空间最小化来获得最大的空间利用率并能够有效地排出处理室内部气体。所述处理室内设有内部相通的多个支架，所述多个支架相互连接并形成一骨架，所述支架上设有多个孔，并结合有用于排出处理室内气体的排气装置。

主权项

1、一种平面显示器用基板输送装置，其特征在于，包括：多个处理室，其提供用于处理基板的空间，且以上下方向予以配置；多个输送装置，其配置在所述多个处理室的内部，且用于输送基板；以及驱动装置，其沿上下方向移动所述多个处理室；其中，所述每个处理室内设有内部相通的多个中空支架，所述多个支架相互连接并形成一骨架；所述支架上设有多个孔；在所述支架上结合有用于排出处理室内部气体的排气装置。