用于电致发光无机发光材料的喷镀沉积方法

摘要

本发明是一种用于薄膜无机发光材料的新的喷镀沉积方法，该无机发光材料可为电视应用提供所需的高亮度和颜色。本方法是一种双源喷镀方法，用于将薄膜无机发光材料组合物沉积至基底上，该方法包括：提供金属作为第一个源；提供含硫化合物作为第二个源；将所述第一个或第二个源掺以稀土活化剂；在含硫气体中施加足够的电流至第一个和第二个源，以实现第一个和第二个目标的喷镀，并且把无机发光材料组合物沉积在基底上。

主权项

1. 一种将多元素薄膜无机发光材料组合物沉积在基底上的双源喷镀方法，所述方法包括以下步骤：提供金属作为第一个源；提供碱土硫化物作为第二个源；将所述第一个或第二个源掺以稀土活化剂；和在含硫气体中对第一个和第二个源施加足够的电流，以实现所述第一个和第二个目标的喷镀，并将所述无机发光材料组合物沉积在所述基底上，其中所述多元素薄膜无机发光材料组合物是三元或更高元组合物。